潔凈室技術(shù)

  序
潔凈室技術(shù)——設(shè)計(jì)、測(cè)試和運(yùn)行的基礎(chǔ)知識(shí)，由英國(guó)潔凈室技術(shù)專(zhuān)家懷特教授（ W.Whyte）撰寫(xiě)。書(shū)中內(nèi)容含蓋潔凈室設(shè)計(jì)、建造、測(cè)試和運(yùn)行方面的基本知識(shí)；在英國(guó)廣為流傳，口碑極佳。
懷特教授是蘇格蘭污染控制學(xué)會(huì) S2C2 現(xiàn)任主席，負(fù)責(zé)國(guó)際污染控制學(xué)會(huì)聯(lián)盟 ICCCS 的網(wǎng)站，是著名的國(guó)際潔凈室技術(shù)活動(dòng)家。
懷特教授將此書(shū)贈(zèng)送給中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì) CCCS，學(xué)會(huì)組織專(zhuān)家完成中譯本，作為中國(guó)潔凈室工程師資格認(rèn)證培訓(xùn)專(zhuān)用教材。旨在博采眾長(zhǎng)、學(xué)習(xí)外國(guó)，祈望中國(guó)潔凈室技術(shù)迅速趕上國(guó)際先進(jìn)水平。在此忠心感謝懷特教授對(duì)中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)CCCS 的深情厚意。

中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)
( CCCS,Chinese Contaminaion Control Society)
2004 年 10 月定稿 
目錄

１、 引言

１.１ 什么是潔凈室？

１.２ 對(duì)潔凈室的要求

１.３ 潔凈室類(lèi)型

１.４ 什么是潔凈室技術(shù)？

２、 潔凈室沿革

２.１ 早期

２.２ 通風(fēng)手術(shù)室

２.３ 早期的工業(yè)潔凈室

２.４ 單向流潔凈室

３、潔凈室分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

３.１ 沿革

３.２ 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)的依據(jù)

３.３ 聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209

３.３.１ 聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209 早期版本（ A 至 D ）

３.３.２ 聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209E

３.４ ISO12344-1 標(biāo)準(zhǔn)

３.５ 制藥潔凈室級(jí)別

３.５.１ 歐盟 GMP 指南

３.５.２ 滅菌藥品無(wú)菌工藝生產(chǎn)指南

３.５.２.１ 關(guān)鍵區(qū)

３.５.２.２ 受控區(qū)

４、信息來(lái)源

４.１ 國(guó)際污染控制學(xué)會(huì)聯(lián)盟（ ICCCS ）

４.２ 潔凈室國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

４.２.１ ISO 標(biāo)準(zhǔn)

４.２.１.１ ISO14644

４.２.１.２ ISO14698

４.２.２ 聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209E

４.２.３ 醫(yī)藥標(biāo)準(zhǔn)

４.２.３.１ 歐盟 GMP 指南（ EU GGMP ）

４.２.３.２ 用無(wú)菌工藝生產(chǎn)的滅菌藥品指南

４.３ 潔凈室相關(guān)書(shū)籍

４.４ 美國(guó)環(huán)境科學(xué)與技術(shù)學(xué)會(huì)（ IEST ）推薦準(zhǔn)則與導(dǎo)則

４.４.１ IEST 推薦準(zhǔn)則 (RP)

４.４.２ IEST 導(dǎo)則

４.５ 潔凈室雜志和期刊

４.５.１ 免費(fèi)贈(zèng)送

４.５.２ 訂閱雜志與期刊

４.６ 制藥潔凈室方面的文件

４.７ 潔凈室國(guó)際論壇

５、紊流潔凈室與輔助潔凈室設(shè)計(jì)

５.１ 紊流潔凈室

５.１.１ 送風(fēng)

５.１.２ 高效空氣過(guò)濾器

５.１.３ 紊流潔凈室的氣流運(yùn)動(dòng)

５.１.４ 房間增壓與房間之間的氣流控制

５.１.５ 建筑材料與裝修

５.２ 輔助潔凈室

５.２.１ 更衣室

５.２.２ 材料轉(zhuǎn)運(yùn)區(qū)

５.３ 隔離室

６、單向流潔凈室與潔凈空氣裝置的設(shè)計(jì)

６.１ 單向流潔凈室

６.１.１ 垂直單向流潔凈室

６.１.２ 水平單向流潔凈室

６.１.３ 半導(dǎo)體制造業(yè)中所采用的單向流潔凈室

６.２ 潔凈空氣裝置

６.２.１ 單向流裝置

６.２.２ 隔離裝置和微環(huán)境

６.２.２.１ 在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用

６.２.２.２ 在其他潔凈室中的應(yīng)用

７、 建筑材料與內(nèi)裝修

７.１ 一般要求

７.２ 普通建筑方法

７.３ 模塊式建筑的建造方法

７.３.１ 無(wú)柱板墻系統(tǒng)

７.３.２ 結(jié)構(gòu)墻系統(tǒng)

７.４ 門(mén)窗

７.５ 地面

７.６ 吊頂

７.７ 放氣特性與靜電特性

８、 高效空氣過(guò)濾

８.１ 潔凈室用空氣過(guò)濾器

８.２ 高效過(guò)濾器的構(gòu)造

８.３ 粒子清除機(jī)制

８.４ 高效過(guò)濾器測(cè)試

８.４.１ 軍標(biāo) 282

８.４.２ 鈉焰法（歐規(guī) 4/4 ）

８.４.３ 環(huán)境科學(xué)與技術(shù)學(xué)會(huì)（ IEST ）推薦準(zhǔn)則“超高效過(guò)濾器測(cè)試”

８.４.４ 歐洲標(biāo)準(zhǔn)（ EN1822 ）

８.５ 高效過(guò)濾器掃描測(cè)試

８.６ 高效過(guò)濾器外框

９、 潔凈室測(cè)試與監(jiān)測(cè)

９.１ 潔凈室測(cè)試準(zhǔn)則

９.２ 潔凈室測(cè)試

９.２.１ 送風(fēng)量與排風(fēng)量

９.２.２ 各區(qū)之間的氣流控制

９.２.３ 過(guò)濾器監(jiān)測(cè)

９.２.４ 隔離簡(jiǎn)漏

９.２.５ 室內(nèi)氣流控制

９.２.６ 懸浮粒子濃度和微生物濃度

９.２.７ 其他測(cè)試

９.３ 潔凈室類(lèi)型與占用狀態(tài)相關(guān)測(cè)試

９.４ 為證明潔凈室符合標(biāo)準(zhǔn)的連續(xù)性所進(jìn)行的再測(cè)試

９.５ 潔凈室監(jiān)測(cè)

１０、風(fēng)量與壓差的測(cè)量

１０.１ 風(fēng)量

１０.１.１ 在潔凈室內(nèi)進(jìn)行風(fēng)量測(cè)量

１０.１.２ 風(fēng)速計(jì)

１０.１.２.１ 翼式風(fēng)速計(jì)

１０.１.２.２ 熱風(fēng)速計(jì)

１０.２ 壓差測(cè)試

１０.２.１ 壓差測(cè)量?jī)x器

１０.２.２ 壓差檢查方法

１１、潔凈室內(nèi)及凈室之間的氣流控制

１１.１ 潔凈室隔離檢漏

１１.１.１ 滲透檢測(cè)方法

１１.２ 潔凈室內(nèi)的氣流控制

１１.２.１ 氣流目測(cè)

１１.２.１.１ 飄帶

１１.２.１.２ 煙霧或粒子流

１１.２.１.３ 風(fēng)速和風(fēng)向

１１.３ 自凈測(cè)試方法

１２、 過(guò)濾器安裝后的檢漏測(cè)試

１２.１ 氣溶膠測(cè)試

１２.２ 人工煙霧與粒子測(cè)試氣溶膠

１２.２.１ 冷生成油霧

１２.２.２ 熱生成煙霧

１２.２.３ 聚苯乙烯乳膠球

１２.３ 煙霧穿透率測(cè)量?jī)x器

１２.３.１ 光度計(jì)

１２.３.２ 單粒子計(jì)數(shù)器

１２.４ 過(guò)濾器與過(guò)濾器外殼測(cè)試方法

１２.４.１ 掃描法

１２.４.２ 在單向流潔凈室中對(duì)過(guò)濾器的測(cè)試

１２.４.３ 傳統(tǒng)流潔凈室的過(guò)濾器測(cè)試

１２.４.４ 泄漏的修補(bǔ)

１３、 懸浮粒子計(jì)數(shù)

１３.１ 懸浮粒子計(jì)數(shù)器

１３.２ 懸浮粒子連續(xù)監(jiān)測(cè)儀

１３.３ 不同占用狀態(tài)下的粒子計(jì)數(shù)

１３.４ 粒子濃度測(cè)量（ ISO14644-1 ）

１３.４.１ 采樣點(diǎn)及其數(shù)量

１３.４.２ 空氣采樣量

１３.４.３ 驗(yàn)收準(zhǔn)則

１３.５ ISO14644-1 測(cè)試方法舉例

１３.５.１ 采樣點(diǎn)數(shù)量

１３.５.２ 最小采樣量

１３.５.３ 采樣結(jié)果

１４ 微生物計(jì)數(shù)

１４.１ 空氣微生物采樣

１４.１.１ 瓊脂撞擊

１４.１.１.１ 惰性撞擊采樣器

１４.１.２ 離心式空氣采樣器

１４.１.３膜過(guò)濾器

１４.２ 微生物表面沉降

１４.２.１ 沉降盤(pán)采樣

１４.２.２ 懸浮污染計(jì)算

１４.３ 表面微生物采樣

１４.３.１ 表面接觸采樣

１４.３.２ 棉簽

１４.４ 人體采樣

１５ 潔凈室運(yùn)行：污染控制

１５.１ 第１步：辨明污染源與傳播途徑

１５.１.１ 污染源

１５.１.２ 空氣傳播與接觸傳播

１５.１.３ 勾畫(huà)風(fēng)險(xiǎn)圖解

１５.２ 第２步：危害性分析

１５.３ 第３步：制定危害控制方法

１５.４ 第４步：危害檢測(cè)采樣法及控制法

１５.５ 制定帶有告警值和行動(dòng)值的監(jiān)測(cè)計(jì)劃

１５.６ 第６步：系統(tǒng)評(píng)定與在再評(píng)定

１５.７ 第７步：文件管理

１５.８ 第８部：人員培訓(xùn)

１６、 潔凈室的紀(jì)律

１６.１ 允許進(jìn)入潔凈室的人員

１６.２ 不允許帶入潔凈室的私人物品

１６.３ 潔凈室內(nèi)需遵守的紀(jì)律

１６.３.１ 空氣的流動(dòng)

１６.３.２ 人員行為

１６.３.３ 材料處置

１６.４ 維修人員和服務(wù)人員

１７ 人員進(jìn)出

１７.１ 到達(dá)潔凈室前

１７.２ 更換潔凈服

１７.２.１ 進(jìn)入預(yù)更區(qū)之前

１７.２.２ 預(yù)更區(qū)

１７.２.３ 更衣區(qū)

１７.２.４ 潔凈室入口區(qū)

１７.３ 走出潔凈室的更衣程序

１８ 材料、設(shè)備和機(jī)器

１８.１ 材料的選擇

１８.２ 外部供應(yīng)的物品

１８.３ 包裝材料

１８.４ 通過(guò)氣閘室傳遞物品和小件設(shè)備

１８.４.１ 帶傳遞臺(tái)的傳遞區(qū)

１８.４.２ 無(wú)傳遞臺(tái)的傳遞區(qū)

１８.５ 設(shè)備的進(jìn)入

１８.６ 通過(guò)傳遞窗和滅菌器傳遞材料

１９ 潔凈服

１９.１ 惰性粒子的來(lái)源與傳播途徑

１９.１.１粒子的來(lái)源與釋放機(jī)制

１９.１.１.１皮膚

１９.１.１.２ 潔凈服下面的服裝

１９.１.１.３ 潔凈服

１９.１.１.４ 嘴與鼻

１９.２.１ 微生物的來(lái)源

１９.２.２ 粒子傳播途徑

１９.３ 潔凈服類(lèi)型

１９.３.１ 服裝設(shè)計(jì)

１９.３.２ 潔凈服面料

１９.３.３ 服裝制作

１９.３.４ 服裝的選擇

１９.３.５ 舒適性

１９.４ 潔凈室服裝的處理與更換頻度

１９.４.１ 處理

１９.４.２ 換洗頻度

１９.５ 洗滌與磨損的效果

１９.６ 潔凈服測(cè)試

１９.６.１ 面料測(cè)試

１９.６.２ 懸浮細(xì)菌和懸浮粒子的散發(fā)

１９.６.２.１ 不同服裝散發(fā)粒子的程度不同

１９.６.２.２ 不同面料服裝比較

１９.７ 潔凈服的抗靜電性能

２０ 潔凈口罩與手套

２０.１ 從嘴中擴(kuò)散的液沫

２０.１.２ 口罩

２０.１.３ 動(dòng)力排風(fēng)頭盔

２０.２潔凈室手套

２０.２.１ 手掌污染與手套

２０.２.２ 手套制作工藝

２０.２.３ 手套類(lèi)型

２０.２.３.１ 聚氯乙烯（ PVC ）手套

２０.２.３.２ 乳膠手套

２０.２.３.３ 其他種類(lèi)的聚合物手套

２０.２.４ 手套測(cè)試

２１ 對(duì)潔凈室的清潔

２１.１ 為什么必須清潔潔凈室

２１.２ 清潔方法與表面物理清潔

２１.２.２ 濕擦拭法

２１.２.３粘輪

２１.３ 潔凈室用清潔用具

２１.３.１ 干真空與濕真空系統(tǒng)

２１.３.２ 拖布

２１.３.３抹布

２１.３.３.１ 吸水性

２１.３.３.２ 抹布造成的污染

２１.３.３.３ 抹布的其他性能

２１.３.４ 粘輪

２１.３.５ 地板擦洗系統(tǒng)

２１.４ 潔凈室清潔用液體

２１.４.１ 清潔液

２１.４.２ 消毒液

２１.５ 如何清潔潔凈室

２１.５.１ 一般要點(diǎn)

２１.５.２ 不同區(qū)域的清潔方法

２１.５.３ 清潔方法

２１.６ 測(cè)試方法